Ресурсный центр естественных наук

НАЗНАЧЕНИЕ

Система предназначена для центрифужного нанесения (spin coating) тонких равномерных плёнок на плоские твёрдые подложки (кремний, стекло, металл) с помощью центробежной силы.

• Скорость вращения: от 100 до 10 000 об/мин;
• Точность поддержания скорости: выше ±1 % от макс. значения;
• Ускорение: от 40 до 5 000 об/мин за шаг;
• Программирование: до 15 встроенных программ (до 20 шагов на программу);
• Рабочая камера: диаметр 8 дюймов (200 мм) с защитным тефлоновым (PTFE) покрытием;
• Фиксация образца: вакуумный держатель подложки.